Semicon中国一线情报：华为成功开发出首款用于14nm线的ArF浸没式光刻工具，计划于2026-2027年量产

1. 21:11 · Mar 29, 2025 · Sat

   Semicon中国一线情报：华为成功开发出首款用于14nm线的ArF浸没式光刻工具，计划于2026-2027年量产。
   
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