国产光刻机的deepseek时刻来了？
从2006年ASML的ADT到2015年NXE3350B，LDP与LPP在ASML的EUV光源还是属于同台竞技，虽然LPP看起来更有未来，但鹿死谁手还不知道。
LDP的代表日本牛尾集团并没有认输，他一直是在配合ASML做研发工作的，但是从Antony在台积电把cymer的LPP光源功率推进到90w的时候，就宣告了LDP技术正式被淘汰。
LDP的问题主要还是在输出功率以及稳定性上，这种明确被淘汰的技术内网小作文拿来大作文章，就如同文前我说的比上次的SSMB光刻工厂还不靠谱。
其实LDP还是有其优点的，比如装置的小型化，所以目前Ushio的LDP技术被鼎鼎大名的Lasertec用在EUV掩膜检测光源上，这也是LDP最好的技术归宿。
from mp.weixin.qq.com
从2006年ASML的ADT到2015年NXE3350B，LDP与LPP在ASML的EUV光源还是属于同台竞技，虽然LPP看起来更有未来，但鹿死谁手还不知道。
LDP的代表日本牛尾集团并没有认输，他一直是在配合ASML做研发工作的，但是从Antony在台积电把cymer的LPP光源功率推进到90w的时候，就宣告了LDP技术正式被淘汰。
LDP的问题主要还是在输出功率以及稳定性上，这种明确被淘汰的技术内网小作文拿来大作文章，就如同文前我说的比上次的SSMB光刻工厂还不靠谱。
其实LDP还是有其优点的，比如装置的小型化，所以目前Ushio的LDP技术被鼎鼎大名的Lasertec用在EUV掩膜检测光源上，这也是LDP最好的技术归宿。
from mp.weixin.qq.com
