曹山石 (Twitter)2023年6月7日，华泰证券研报：上海微电子或将在明年交付国产第一台 28nm的immersion式光刻机；2023年7月31日，官媒《证券日报》报道：有消息称，上海微电子正致力于研发28纳米浸没式光刻机，预计在2023年年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场；2023年12月20日，国资张江集团官方账户发文：作为国内唯一 一家掌握光刻机技术的企业，上海微电子成功研制出28纳米光刻机

1. 04:53 · Dec 21, 2023 · Thu

   

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   曹山石 (Twitter)
   
   2023年6月7日，华泰证券研报：上海微电子或将在明年交付国产第一台 28nm的immersion式光刻机；
   2023年7月31日，官媒《证券日报》报道：有消息称，上海微电子正致力于研发28纳米浸没式光刻机，预计在2023年年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场；
   2023年12月20日，国资张江集团官方账户发文：作为国内唯一 一家掌握光刻机技术的企业，上海微电子成功研制出28纳米光刻机。
   后续结果：华泰该研报从Wind撤回、证券日报电子版该消息链接失效、张江集团修改文章。