玻璃通孔 TGV 与 LIDE 工艺
要在玻璃基板上建立电路,必须制作垂直贯穿玻璃的电气通道,这就是 TGV
step 1:激光改质,使用超短脉冲激光聚焦于玻璃内部,沿着预定路径改变材料的化学和物理性质
step 2:选择性湿式蚀刻,将经过激光处理的玻璃放入化学蚀刻液(如 HF)。有激光改质的区域蚀刻速度比未改质的玻璃快 100 倍
这种方法能制造出深且窄、侧壁光滑、锥度极小且直径高度均匀的通孔,避免了传统机械钻孔可能导致的裂纹或热影响区。
要在玻璃基板上建立电路,必须制作垂直贯穿玻璃的电气通道,这就是 TGV
step 1:激光改质,使用超短脉冲激光聚焦于玻璃内部,沿着预定路径改变材料的化学和物理性质
step 2:选择性湿式蚀刻,将经过激光处理的玻璃放入化学蚀刻液(如 HF)。有激光改质的区域蚀刻速度比未改质的玻璃快 100 倍
这种方法能制造出深且窄、侧壁光滑、锥度极小且直径高度均匀的通孔,避免了传统机械钻孔可能导致的裂纹或热影响区。